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产品概述：
该定制快速退火炉是一款由RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热，升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制，RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
技术参数：
| 产品名称 | 定制快速退火炉 |
| 部分： 管式炉 | |
| 产品名称 | 开启式上下温区RTP管式炉 |
| 温度 | 1000度 |
| 控 制 器 | LCD触摸屏 |
| 炉管尺寸 | 石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口 |
| 加热区 | 300mm |
| 炉型 | 开启式 |
| 供电电源 | 电压：380V； 频率:50 hz；三相 |
| 加热元件 | 卤素灯加热 |
| 升温速率 | 30 C/秒 |
| 热 电 偶 | K 型热电偶测物料处温度 |
| 温度控制器 | 30段高精度数字可编程温度控制器 |
| 第二部分 混气系统 | |
| 量程 | MFC1：氧气（O2）0-200sccm MFC2：氩气（Ar）0-200sccm |
| 第三部分 真空系统 | |
| 飞越VDR-4 1L/S +粉尘过滤器配套防腐数显真空计 | |
