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| 具体型号 | VMH600 |
| (X/Y/Z轴)量测行程(mm) | 600*500*200 |
| 全机尺寸(mm) | 1160*800*1650 |
| 机台底座和立柱材料 | 高精度花岗石 |
| CCD | 41万像素3DFAMILY-E彩色 |
| X,Y轴量测精度 | （3+L/200）μm |
| 放大倍率 | Step Zoom光学放大率：0.7-4.5X，影像放大率：28-180X |
| 光学尺解析度 | 1 μm |
| 重复性 | 2 μm |
| 操作方式 | 手动 |
| 电源供给 | 110/220V |
| 合适温度，湿度 | 温度：19°-24°，湿度：45%-75% |
