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仪器特点
四轴CNC控制，自动寻边、自动测量、自动对焦采用移动桥式精密花岗岩架构，满足高精度，高稳定性高精度0.5um分辨率进口开放光栅系统全闭环伺服运动控制系统，速度快、精度高摇杆/鼠标操作，可单独或协同控制表面光源为程控5环8区LED冷光源，平行轮廓光源，亮度均连续可调根据客户工件的具体情况，提供不同的照明组合可聚焦测高，可加装接触式测头和激光测头模组可以按照客户需求提供定制化设计
技术参数
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