纯蒸汽通常是以纯化水为原料水，通过纯蒸汽发生器或多效蒸馏水机的效蒸发器产生的蒸汽，纯蒸汽冷凝时要满足注射用水的要求。软化水、去离子水和纯化水都可作为纯蒸汽发生器的原料水，经蒸发、分离（去除微粒及细菌内毒素等污染物）后，在一定压力下输送到使用点。
纯蒸汽发生器通常由一个蒸发器、分离装置、预热器、取样冷却器、阀门、仪表和控制部分等组成。分离空间和分离器可以与蒸发器安装在一个容器中，也可以安装在不同的容器中。纯蒸汽发生器设置取样器，用于在线检测纯蒸汽的质量，其检验标准是纯蒸汽冷凝水是否符合注射用水的标准，在线检测的项目主要是温度和电导率。

纯蒸汽发生器实物图：

操作原理

整个纯蒸汽发生器包括两个部分：热交换器和蒸发器。给水直接进入蒸发柱（净化柱），工业蒸汽进入热交换器的壳程。工业蒸汽把水加热到蒸发温度，这样在两个柱之间产生了一个循环系统。在蒸发器里面产生蒸汽，蒸汽低速率上升，同时以净化柱的高度可以去除其他不纯的杂质以达到净化的目的。

蒸发器安装有压力传感器，可控制工业蒸汽进入热交换器，以恒压的状态产生纯蒸汽。

同时蒸发器内安装有液位变送器，可控制进水的流量。

建造特点

此设备由AISI不锈钢316L制造，标准抛光表面并经过酸洗钝化处理。可按要求提供内窥镜检查和电抛光。

整个设计建造加上简洁的流程，使得占地空间紧凑，同时维护清洁的空间也节省了不少。