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设备适用于半导体组件裂纹和脱粘检测；陶瓷和复合材料气孔和分层检测；航空部件脱粘检测；工业制造业材料检查。
高精度扫查器及控制装置，采用X,Y,Z三轴扫查器
X：线性马达驱动系统，行程：300mm；分辨率：1μm；采样：2μm＊1-1.0mm；更大移动速度.：1000mm/sec＊2
Y：高精度滚珠丝杆脉冲系统，行程：350mm；分辨率：1μm；采样：2μm＊1-1.0mm
Z：高精度滚珠丝杆脉冲系统，行程：50mm；分辨率：1μm；采样：2μm＊1-1.0mm
*1: X/Y=0.2μm/0.5μm ；
*2：扫描速度取决于振动，PRF和图像精度；
*3: 高度方向具有距离修补功能。
更大采集点：300，000，000 点
扫查器尺寸重量：尺寸：1000×800×570 mm；重量：约120 kg
扫查器软件设置特点：操作简单，由鼠标即可完成所有设置。通过鼠标移动到任意想要取点位置，点击或
点击拖动鼠标完成扫描区域设置。
典型检测：陶瓷部件表面裂纹检出；印刷电路板粘结部检测；陶瓷基盘检测
HIS3 HF | 脉冲电压 | -200V |
脉冲下降沿时间 | 小于 1.0ns | |
系统带宽 | 1.0-300MHz | |
动态增益 | 0-71dB/1dB 步进 | |
A 扫范围 | 0-40.96us | |
3 轴扫查器 | 系统驱动 | X：300mm(线性马达) |
Y：350mm(滚珠丝杆和步进马达) | ||
Z：50mm(滚珠丝杆和步进马达) | ||
扫描速度 | 更大可达1,000mm/s | |
扫描间距 | 标准间距：从2um 到1.0mm(X-Y) | |
扫描模式 | 光栅扫描(X-Y) | |
水槽尺寸 | 430(宽) X 590(深) X 100(高) mm | |
数据采集网格点 | 可达 300,000,000 点/1 次扫描 | |
数据保存 | HDD，DVD-RW 等 | |
基本参数 | 尺寸 | 3 轴扫查器外部尺寸：1000X900X570 |
PC 机：590X440X80mm | ||
HIS 3 HF：449X398X135mm | ||
重量 | 3 轴扫查器：约120kg；PC 机：15kg；HIS 3 HF：10kg | |
电源 | AC 100V 1KVA |
工作环境：
工作温度：-15~55℃
存储温度：-20~60℃
相对湿度：不超过85%
工作电压：AC220±10V
125MHz射频波探头波形图
高阻尼探头
