1.设备名称：

    常温SF6气体针板放电试验装置

2.设备功能：

    在真空条件下，注入低气压试验SF6气体，然后施加设定的高电压，实现针板电晕放电。内部垂直方向安装了针板放电电极组，针电极在上通过腔体上部的真空高电压绝缘子引入高电压，板电极在下通过专门设计的地电极接地，板电极在垂直方向高低可调。充气过程的充气压力可以实现高精度调节。装置集成在一个移动小车上，方便使用和搬运。

3.设备特点：

   ①.设备具有一个高压腔体，腔体容积约10L。采用了上下平盖封头的卧式结构腔体。沿圆周方向设置了2个互相垂直的石英玻璃视镜，方便观察和摄像。设置了一个手孔开门，采用门轴式开门机构。腔体上方有高电压引入的绝缘子，引入电压100KV。装置配置了油封旋片式双级真空泵，并安装了电阻真空规、低气压压力数字压力表、正压压力数字压力表以满足不同试验气压值分段的高精度测量。腔体内部进行了抛光处理。腔体分别连接了真空抽气通路和工艺气体的充气通路。

   ②.内部板电极运动机构采用了丝杠螺母式调节方式。通过精密加工和在轴向以及旋钮圆周的高精度刻度线，可以实现针板距离调节满足Z小0.1mm移动精度。

   ③.为了满足高精度的充气气压要求，充气过程通过一组三个高精度真空微调阀来进行。通过微调阀开度的控制可以将充气压力过程的控制精度到2Pa，有效地防止了过充造成的试验数据不稳定。另外试验过程可能采用多元混合气体，所以装置安装了三个真空微调阀以满足同时对不同气体进行充装作业。

   ④.系统抽气泵配置了油封旋片式双级真空泵，介质气体采用了瓶装气体。

   ⑤.设备充抽气管路的通断和切换均采用了手动真空压力球阀，既可以实现真空下的严格密封也可以适应较高气压下的严格密封。

   ⑥.腔体通过特殊设计的圆形底座安装于移动小车之上。

4.设备主要性能：

    ①.真空性能

    真空：0.2Pa

    设备总体漏率：2×10^-5Pa·m³/s

    ②.正压试验压力

    压力：0.6MPa

    正常试验压力：0.4MPa

    ③.接入电压

    100KV

    ④.针板距调节

    调节范围：60mm

    调节精度：0.1mm