氦质谱检漏

           该检漏方法是真空检漏领域里不可少的一种技能，因检漏效率高，操作简单，仪器反应灵敏，精度高，不容易受到其他气体干扰，在真空检漏中得到了很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。真空腔体由分析器、离子源、分析器、冷阴电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收而被检测到。其中呢，喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种方法。