设计特点
· 尺寸极小
· 无须辅助和实际的关断截止
· 全棒料结构
· 适合面板安装
· 气密性关断截止
产品规格
流量 ：15 slpm（在氦气供应压力为60psig（413.7KPa）和出口压力15psig（103.4KPa））
zui大操作压力： 250 psig （1.72MPa）
zui大操作温度： 160℉ （71℃）
总压降 ：zui小 10 psi （69.0KPa） ；zui大250 psi （1.72MPa）
性能 ：（基于氦气供应压力为 60 psig（413.7KPa）和出口压力为15 psig（103.4KPa）时）
供应压力波动影响 ：供应压力变化 10 psi（69.0KPa）时，出口压力变化不会超过0.07 psi（0.48KPa）
环境温度影响：（温度系数） 0.013 psi/℉（0.024 psi/℃）
漂移：zui初 15分钟少于0.2%，*总体合计少于0.6%
流量灵敏度（衰减）： 氦气流量从 2 sccm变到250 sccm时，出口压力变化不会超过0.2 psi（1.38KPa）
基线 波动 ： 0.0012 psi（8.3Pa）
精确调节（分辩率） ： 15转
压力调节 范围 ： 0-10 psig （69.0KPa）
0-30 psig （206.9KPa）
0-60 psig （413.7KPa）
0-100 psig （689.5KPa）
连接 ： 入口和出口均为 1/8”Swagelok；表接口为10-32 UNF-2B
结构材质
主体 ：铝
阀帽 ：铝
提升阀 ：不锈钢
孔 ：不锈钢
膜片 ：不锈钢
范围弹簧 ：琴线