设计特点 · 热式原理 · 一体化设计 · 满量程从 5sccm 到 1000slpm · 响应时间不超过 2 秒钟 · 操作压力可达 20mpa · 对安装位置不敏感 · 316ss 材质，允许测量腐蚀性气体 · 无直管段要求 · 单电源供电 技术参数 流量范围 ：从 0-5sccm 到 0-1000slpm n 2 ，具体请参考表一 响应时间 ： 1 ～ 2 秒 精 度 ： ± 1% 满量程（除 114 型）； ± 1.5% 满量程（ 114 型） 再 现 性 ： ± 0.2% 满量程 量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程） 环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃ zui大操作压力 ： 3000psig （ 20mpa ） ，具体请参考表一 零点漂移：± 0.05 % 满量程 / ℃ 范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃ 压力漂移： 0.1%/atm （相对于 n 2 ） 安装方向： 对位置不敏感 预热时间： 10 分钟 电气连接： 卡式（ 20 针）或 d 型（ 9 针） 流量信号输出： 0-5vdc （zui小负载电阻 2k ω ）； 0-10vdc （zui小负载电阻 3k ω ）； 1-5vdc （zui小负载电阻 2k ω ）； 4-20ma （请参考下面的说明）； 对于流量信号输出为 4-20ma 的负载电阻： 环路电压为 6.5-15vdc 时： 0-450 ω 环路电压为 15-30vdc 时： 200-750ω 供应电源 ： 电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5vdc 和 1-5vdc 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )vdc电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )vdc 电流消耗：＜ 45madc 重 量 ：请参考表一 结构材质 主 体： 316ss 传感器组件 ： 316lss 密封材质（” o ”型环）： buna n ， epdm ， kalrez ? ， neoprene ， viton? 过程连接： 316ss

表 一

型 号	流量范围（ n 2 标定） zui小 / zui大	zui大操作压力 psig （ mpa ）	重 量 lbs （ kg ）
111	0-5sccm/0-10slpm	1500 （ 10.3 ）	0.9 （ 0.41 ）
112	0-10slpm/0-100slpm	1500 （ 10.3 ）	2.1 （ 0.95 ）
113	0- 100slpm /0-500slpm	1500 （ 10.3 ）	5.2 （ 2.4 ）
114	0-500slpm/0-1000slpm	1500 （ 10.3 ）	6.6 （ 3.0 ）
121	0-5sccm/0-10slpm	3000 （ 20.7 ）	0.9 （ 0.41 ）
122	0-10slpm/0-100slpm	3000 （ 20.7 ）	2.1 （ 0.95 ）
123	0-100slpm/0-500slpm	3000 （ 20.7 ）	10.8 （ 4.9 ）

订货时须提供以下信息： 1 、产品型号 2 、电气接口 3 、流量信号输出 4 、密封材质（阀座 / ” o ”型环） 5 、接口尺寸和类型 6 、流量范围 7 、介质（气体类型） 8 、工作温度 9 、入口压力 p1 10 、出口压力 p2 11 、标定温度（如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ ） 12 、其它要求