设计特点 · 压电式控制阀 · 金属密封结构 · 响应时间快 · 设计紧凑 · 316l/316ss不锈钢结构 · 高精度达± 1％ p2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、精确控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。*的热式测量系统提供精确的测量，同时液体温度上升小于5度。高级的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 p2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。 d2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、精确控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保（高纯度和泄漏完整性）。*的层流旁路和传感器部件提供精确的测量，同时液体温度仅上升5度，此外，d2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。

液体流量计和控制器技术参数 流量范围 ： p2000i系列和d2000i系列液体流量控制器是以异丙醇（ipa）来标定的，在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数，具体请参考表一响应时间 ： p2000i系列 ： 2s（ 设定点的2％之内 ） d2000i系列：＜1s（ 流量的5％之内 ） 精度和线性 ：± 1％满量程（p2000i系列）；±1％读数（d2000i系列） 重复性 ： p2000i系列：＜±0.2％满量程（任意连续温度下） d2000i系列：＜±0.2％读数 量程比： p2000i系列：50：1（2％-100％满量程） d2000i系列：20：1（5％-100％满量程） zui大操作温度 ： 40℃（104℉） zui大操作压力： 125psig 温度系数 ：＜ 0.1％/℃ >设定点输入 /流量输出信号 ： 0-5vdc/0-5vdc（输出流量信号时：需zui小2kω电阻） 供电电源 ：﹢ 15vdc±10％（电流消耗＜200madc时） 泄露率 ： 1х10 -9 atm.cc/s he 预热时间： 10分钟（p2000i系列）；20分钟（d2000i系列） 电气连接 ： 9针d型 入口 /出口过程连接 ： 1/8″male vcr或1/8″swagelok 控制阀 ：压电式常开 内置容积 ：＜ 0.71ml（p2000i系列）；＜1ml （d2000i系列） 重 量 ：≤ 0.68kg

结构材质 主体： 316lss 传感器组件 ： 316lss 阀构成部件 ： 316lss（d2000i系列）；302ss和316lss（p2000i系列） “ o”型环：316lss 表 一