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TM4000 系列为 SEM 用户提供了一种解决方案,可以轻松获得高质量的数据并快速生成报告,从而实现*效的工作流程。环b、*效的真空系统可缩短泵送时间和高样品处理量。可容纳直径可达 80 mm、厚度可达 50 mm 的样品尺寸。
观察与分析的灵活性
可快速获得元素分布图*2
高感度低真空二次电子检测器的检测原理
Multi Zigzag(选配)
EM 样品台(选配)
项目 | TM4000PlusII | TM4000II |
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倍率 | ×10~×100,000(照片倍率) ×25~×250,000(显示器倍率) | |
加速电压 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
图像信号 | 背散射电子 二次电子 复合图像(背散射电子+二次电子) | 背散射电子 |
真空模式 | 导电体(仅背散射电子) 标准 静电减轻 | 标准 静电减轻 |
样品可移动范围 | X:40 mm Y:35 mm | |
*大样品尺寸: | 80 mm(直径) 50 mm(厚度) | |
电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Catridge Filament) | |
检测器 | 背散射电子:高感度4分割 背散电子检测器 二次电子:高感度低真空 二次电子检测器 | 背散射电子:高感度4分割 背散射电子检测器 |
排气系统 (真空泵) | 涡轮分子泵:67 L/s 1台 隔膜泵:20 L/min | |
尺寸与重量 | 主体:330(宽度)×614(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带马达驱动的样品台) 主体:330(宽度)×617(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带手动样品台) 隔膜泵:144(宽度)×270(进深)×216(高度) mm |