无氦低温探针台对于晶圆级测试在77K至480K

- 成本效益，稳定，可靠，方便使用可达100mm直径的晶片

- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）

- 闭环循环制冷机

- 高达2英寸直径的表征样品

- 选择DC至67GHz的测量与适当的探头

- 4 微控探针臂（多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z

- 热锚定探针针尖

- 温控辐射屏蔽

方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）

- 高频振动阻尼

- 定制的高水平，以适应各种的探测需求

详细参数

可达25mm，50mm以上100毫米

无液氦封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管

低于77K到480K

控温精度：0.1K

温度分辨率：0.001K

热锚探头武器和辐射屏蔽

chuck温控（加热）盘

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可

变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案

同轴和环形照明LED照明

数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力

软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由终用户很容易地编程