具有成本低，稳定，可靠，方便使用等特点

可达150mm直径的晶片

- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性，优于在低于250K50mK稳定性）无论是用液氮或液氦冷却均可兼容

- 选择DC到110GHz的测量与合适的探头

- 4 微控探针臂（多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z

- 热锚定探针针尖

- 温控辐射屏蔽

方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）

- 高频振动阻尼

- 定制的高水平，以适应各种的探测需求

- 电动XY，XYZ或XYZ夹头位置调整作为选项带有不同的范围和分辨率

详细参数

175毫米D，多3个辅助夹头可以安装

液氮或液氦冷却

温度范围：5K至480K可用

控温精度：0.1K

温度分辨率：0.001K

热锚探头武器和辐射屏蔽

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层可

同轴和环形照明LED照明

数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力

隔振

- 空气减震系统隔振表

- 无振动隔离波纹管

- 在卡盘振动<30nm