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产品规格
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昆山国华电子提供等离子清洗设备 | |||
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国华GH-13MM 系列等离子体表面清洗系统标准配置表 | |||
机台名称 | 等离子体表面清洗系统 | ||
机台型号 | GH-13MM | ||
机台用途 | 5种气体通入，不同组合用于不同工艺制造，可用于高频板PTFE类、软硬结合板、多层软板等除胶渣等制造工艺，柔性板化金前后清洗、打线邦定前清洗等处理，SMT前清洗等 | ||
技术参数 | 备注 | ||
1 | 机台整机规格 | 2000（W）*1300（D）*1960（H） |
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2 | 真空室规格 | 进口铝 1030（W）*910（D)*930（H） |
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3 | 电极板规格 | 进口铝900(W)*600（D) |
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4 | 单层有效处理区尺寸 | 814（W)*560(D) |
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5 | 真空电极结构 | 水平电极板13层, 处理12层工件 |
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6 | 真空泵系统 | 汉中泵组 |
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7 | PLC自动控制系统硬件 | OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制） | 日本欧姆龙/西门子 |
8 | 人机工控系统 | 触摸屏式全中文界面 |
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9 | 变频控制系统 | PID闭环控制，真空度可维持 |
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10 | 机台冷却系统 | 采用内部独立中通冰水循环冷却系统 |
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11 | 温度控制系统 | 日本欧姆龙OMRON温度传感模块，PID闭环控制，温度可控 |
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12 | 冰水机 | 5.0P双泵 |
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13 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻式真空计 | 日本爱发科 |
14 | 真空供气系统 | Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路 | 进口优质不锈钢 |
15 | 真空排气系统 | 全不锈钢管路+波纹管 | 进口优质不锈钢 |
16 | 破真空系统 | 倒计时自动开合启动 |
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17 | 气体控制系统 | 电磁阀控制 | 日本CKD |
18 | 气体计量系统 | 3路精确质量流量控制计：MFC | SevenStar |
19 | 等离子发生器 | 额定功率：0-20KW，全自动匹配（国华自主研发） |
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20 | 其他组件 | 国内外元器件 |
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21 | 机台总重 | 约2500kg |
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22 | 额定功率 | 额定功率 35KW |
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23 | 机台供电 | AC-380V-50Hz，三相五线 |
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24 | 腔体材质 | 进口铝 |
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25 | 电极板数量 | 13层处理区12层 |
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26 | 单次处理时间 | 10-60分钟不等（根据产品特征，时间设定不同） |
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27 | 工作真空度 | 0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度） |
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28 | 真空泵极限压力 | 5pa以下 |
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29 | 抽真空时间 | 抽到工作真空≤180秒 |
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30 | 破真空时间 | ≤60秒 |
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31 | 供气方式 | 电磁阀式 |
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32 | 气体入口及流量计调节范围 | 5路独立MFC，N2和CF4，0-1000sccm（毫升/分钟）, O2,0-3000sccm（毫升/分钟） |
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33 | 温度控制调节范围 | 5匹速冷，30-85℃可调 |
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34 | 操作方式 | 人工取放工件，一键启动自动控制 |
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昆山国华电子提供等离子清洗设备
等离子的真身
现在我们重点介绍一下物质的第四种状态——等离子体。
不同的能量水平会造成不同的物质状态。例如，你有一些固体（比如冰块），如果加热它，固体就会熔化，变成液体。如果继续加热，液体会慢慢蒸发，转化为气体。
如果继续向这种气体提供能量，当温度足够高时，这种气体将被电离，即外层电子会摆脱原子核的束缚，成为自由电子。这时物质就变成了由带正电的原子核、带负电的电子以及未电离的中性粒子组成的一团均匀的“浆糊”，人们戏称它为“离子浆”。这些离子浆中正负电荷总量相等，因此，它是近似电中性的，所以就叫等离子体。除了加热气体能产生等离子体外，外加电流也可以激发电子摆脱原子核的束缚，产生等离子体。
虽然等离子体来源于气体的电离，但它的性质与气体的性质*不同，因此，等离子体被认为是一种新的物质状态。例如，两者的导电性不同，气体的导电能力非常差，属于绝缘体。但等离子体包含大量的自由电子，因此，等离子体的导电性*。
等离子体的导电性体现在闪电中。雷雨天，云层间的相互摩擦使不同的云层带有不同的电，有些带有大量的正电，有些带有大量的负电，随着电荷的积累，空气被电离形成等离子体，云层间形成电流的通路。闪电（电流）出现的位置，就是等离子所在的位置。
目前，等离子体在我们的生活中有许多的应用，比如荧光灯。荧光灯的灯管中有氩气和少量的水银（金属汞），电流会将灯管中的气体电离，变成等离子体，这些等离子体再和涂在灯管壁上的荧光剂作用，产生灯光。除了光电制造行业，等离子还被应用于化纤及纺织、汽车制造和塑料橡胶等行业。
等离子体大的应用前景之一是受控热核聚变，即在可控制的情况下，使原子融合，并释放大量的能量。受控热核聚变可以为我们提供新的可再生能源，但该技术的实现十分困难。首先，等离子体必须被加热到1亿摄氏度，才能发生聚变；其次，热等离子体非常不稳定，且不喜欢呆在一个固定的位置，难以被控制和利用。随着研究的深入，未来我们一定能更加了解物质的第四种状态。
