Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80

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具体成交价以合同协议为准
2021-04-23 13:43:50
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产品简介

上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵.HiPace 80 对所有气体的高抽速和*压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据保证分子泵的*安全性.

详细介绍

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和*压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据保证分子泵的*安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.

涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数

分子泵型号

接口 DN

抽速 l/s

压缩比

*启动压强mbar

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

HiPace 80

63

16

67

58

48

> 1X1011

22

< 1X10–7

1.3

1.75

2.4

 

分子泵应用 HiPace 80
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术

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