- 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 - 超高真空

 铜垫圈 / 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 1 bar ( 任意位置 )

 - 开启前压力

 ≤ 30 mbar

 烘烤温度（不含电磁阀）:

 - 弹性体密封阀盖

 150°C

 - 金属密封阀盖

-开启温度：200°C

-关闭值：150°C

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

机制

手动：

手摇曲柄

电磁阀供电电压

 120 VAC 50 /60 Hz

电磁阀可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 电磁阀位置指示器

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

气动送风：

80 psig

 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 16 - 800 mm