真空烧结炉硬件选型种类与使用注意事项
时间:2021-12-16 阅读:58
一、真空烧结炉硬件选型种类
1、安装方式
真空烧结炉根据安装方式分为卧式及立式炉两种,立式炉又分为上出料及下出料结构,在选择时主要是依据烧结的产品类型、形状或摆放方式来确定。
2、加热元件
真空烧结炉的加热元件向工件的传热方式和普通电加热炉不同,以辐射传热为主。其加热元件主要有镍铬、高温钼、石墨及石墨带(板)、钨带及钨网:
(1)镍铬主要应用在温度在1000℃以下的炉体;
(2)高温钼可以应用在1600℃以下的炉体;
(3)石墨及石墨带(板)可以应用在2300℃以下的炉体;
(4)钨带及钨网可以应用在2400℃以下的炉体。
加热元件的选择主要依据烧结温度、产品的物理及化学特性而确定。
3、隔热屏
隔热屏是真空烧结炉加热室的主要组成部分,其主要作用是隔热、保温及减少热损失,同时也是固定加热器的结构基础。因此,隔热屏结构形式及材料的选择,对真空烧结炉的功率及性能(如真空度、放气率等)有很大的影响。隔热屏基本上分为金属隔热屏和非金属隔热屏两类。其结构形式分为全金属隔热屏、夹层式隔热屏、石墨毡隔热屏和混合毡隔热屏。隔热屏的选择主要依据烧结温度、产品的物理及化学特性和真空度要求而确定。
4、真空系统
真空系统一般有多种组合形式,选择依据主要参考工作时需要的真空度,常见真空系统如下:
(1)低真空系统:配置为机械泵(旋片泵或滑阀泵),极限真空度可达10帕左右;
(2)中真空系统:配置罗茨泵和机械泵(旋片泵或滑阀泵)组合,极限真空度能达到2×10-1帕;
(3)高真空系统:一般配置为扩散泵+罗茨泵+机械泵(旋片泵或滑阀泵),极限真空度可达到2×10-3帕;
(4)超高真空系统:涡轮分子泵+罗茨泵+机械泵(旋片泵或滑阀泵),极限真空度可达2×10-4帕。
5、冷却系统
真空烧结炉的冷却方式可分为自然冷却和强制冷却,强制冷却又分为内循环冷却和外循环冷却。充气介质一般为高纯氮气或氩气。
二、真空烧结炉使用注意事项
1、经常检查电控柜的电器元件有无损坏,发现问题及时处理。
2、经常检查可控硅调压器的声音是否正常,如发出异响应立即停电检查。
3、定期检查粗抽阀、主阀的行程开头动作是否灵活、正常。
4、应定期检查风机Y-△启动的各接触器有无烧损,时间继电器整定值应为40~50秒。风机启动前检查电接点真空压力表一定大于-0.03MPa,此时充气电接点压力表上限值应设为-0.01MPa。
5、可编程控制器的锂铍电池使用5年必须提前更换。更换时间不得超过5分钟。
6、确保冷却水压力在0.1~0.2MPa,工作时经常检查各部分冷却水正常。
8、停炉时将炉内抽真空或充入保护性气体。
9、充气气体纯度高于99.99%。
10、真空泵要经常换油,以保证工作正常。
11、长期连续工作要定期清理炉内,一般一个月或100炉次工作后,或长期未使用时需要空炉抽真空加热一次,以达到真净化目的。
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