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MEB800S离子束辅助沉积光学镀膜系统（Ion beam assisted deposition）

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关键词：电子束蒸镀、热蒸镀、离子束辅助沉积、高真空镀膜设备、光学监控系统、OMS、金属膜、氧化膜、IBAD、IBD、光学薄膜、紫外、红外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/铝复合膜热蒸发源：多个电子束蒸发源：多坩埚高真空系统：低温泵+干泵

关键词：电子束蒸镀、热蒸镀、离子束辅助沉积、高真空镀膜设备、光学监控系统、OMS、金属膜、

氧化膜、IBAD、IBD、光学薄膜、紫外、红外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/铝复合膜

热蒸发源：多个

电子束蒸发源：多坩埚

高真空系统：低温泵+干泵，真空度＜10-7 Torr

样品台：可接纳4个6英寸衬底

膜厚检测系统：多个晶振检测探头

沉积速率分辨率：0.01A/s

离子束辅助沉积

光学监控系统：多个探头、多波段。

监控范围：220nm-2200nm

高精度镀膜

电脑控制：全自动软件

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