型号：MEB450S，   产地：欧洲，  应用：沉积金属薄膜

蒸镀腔体：高600mm、宽450mm、深450mm

热蒸镀源：6个热蒸镀源

样品台： 可加载4×60mm衬底

衬底旋转：10 rpm

衬底加热：热阻丝加热可达300℃

                  采用热电偶控温

厚度控制：采用 石英晶振膜厚控制仪

衬底清洗及刻蚀：

                 配备直流离子枪

                 Ar、N2气路用于反应离子束刻蚀

                 刻蚀不均匀性±4% @ 60mm晶圆

                 离子枪到衬底距离为300mm

控制系统：全自动控制，半自动和手动模式可用

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