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技术性能指标: | ||
主要规格参数 | LK Integra 8.7.6 | |
有效测量范围 | X轴(沿工作台移动方向) | 813 mm |
Y轴(沿横梁移动方向) | 711mm | |
Z轴 | 610mm | |
光栅分辨率 | 0.1 μm | |
精度指标 18-22℃/(ISO10360-2) | 大允许示值误差MPEE | 1.8+L/350 μm |
大允许探测误差MPEP | 1.8 μm | |
(ISO10360-4) | 大允许扫描误差MPETHP | 3.9 μm/59s |
动态性能 | 大三维速度 | 680 mm / s |
大三维加速度 | 2380 mm / s2 | |
设备外形尺寸(约) | 长度 | 1610mm |
宽度 | 1463 mm | |
高度 | 2696 mm | |
工作台厚度 | 215mm | |
台面大承重 | 822 kg | |
整机重量(约) | 1104kg | |
环境条件要求: | ||
环境温度要求 | 保持精度温度范围 | 18-22℃ |
温度梯度(时间) | 1 ℃/hr、2 ℃/8hr、4 ℃/24hr | |
温度梯度(空间) | 1 ℃/米 | |
气源要求 | 气压 | 6.3 Bar (90psi) |
气体流量 | 140 NL/min | |
杂志大颗粒 | 1 mm3 | |
压力露点 | 2℃ | |
环境湿度要求 | 20%-80% | |
电源要求 | 20A 、50HZ、220V、3KVA |