气体质量流量计（流量控制器）-陕西中仪仪表集团有限公司手机版

详细介绍

一、产品概述

气体流量计(Mass Flow Meter缩写为M FM)和气体流量控制器(Mass Flow Controler缩写为MFC)用于对微小气体的流量进行精密测量和控制。是结合微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年,开发出的智能化全电子式气体流量仪表。主要技术性能处于水平,具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点:针对工业环境,融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计:且具有多种信号输出,能通过通讯接口实现网络管理功能:本产品在性能、安装、维护方面也具有其的*性。可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。

典型特点如下:

■采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。

■在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。

■传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。

■结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。

■技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,极大地降低了能源消耗。

■微功耗设计 ,采用LCD显示瞬时流量和累计流量,清晰直观,读数方便。

■产品融合了电磁兼容设计技术,具有更高抗力。.

■流量计带有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理。

二、典型应用

气体流量计/流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入,以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它各种类型的分析仪器。

三、测量原理

微机电系统(MEMS)芯片传感技术,是在硅芯片上集成了具有机械和电子特征的微米级传感器。它并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上,而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些宏观机电器件所不能达到的功效。同时采用了多传感器和微热源技术，使其具备了优良的稳定性、响应时间短和超大量程等特点。OPEC-MFM系列气体质量流呈计主要由电源模块、MEMS流量传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、EEPROM存储器、RTC实时时钟模块以及显示模块组成。见右图(图1)。

OPEC- MFC由流量传感器、分流器通道、流量控制电磁调节阀和放大控制电路等部件组成。

OPEC-MFC利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布。

该产品利用流体流动传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导效应而制成,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以在一定范围不受温度压力的影响。将传感器测得的流量检测信号进行放大。然后与设定的流量电压信号进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通，道的实际流量使之与设定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛细管间产生稳定的层流状态,用以调整

四、产品技术指标及选型