详细介绍
JSM-7500F场发射扫描镜配备了冷场发射电子枪和半浸没式（semi-in-lens）物镜，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能够达到的分辨率。通过与GB模式组合，即使是用几百电子伏的入射电子束也能获得很高的分辨率，是非常适合观察样品浅表面的装置之一。此外，JSM-7500F还可以选配用于元素分析等的各种附件。
强大的通用性与分辨率的组合
JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式（semi-in-lens）物镜组合为一体，冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细，与通用型扫描电镜一样，对大样品也可以进行高分辨率的观察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以极低能量的入射电子束观察样品的浅表面
通过给样品加以偏压并照射电子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察，这是迄今为止未能实现的。。
新型 r-过滤器选择性检测二次电子和背散射电子
新型 r-过滤器有标准SB（二次电子检测）模式、标准BE模式（背散射电子检测）、Sb模式（二次电子为主）和Bs模式（背散射电子为主）四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散射电子的二次电子，Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子，这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。
