YX系列异型光学平台
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中世沃克(天津)科技 发展股份有限公司
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·平面度不大于0.05mm/㎡ ·表面粗糙度小于0.8um~1.6um ·固有频率3Hz~6Hz ·振幅不大于5um ·重复定位精度+0.05mm
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