BPG400 大气压至超高真空真空计-英福康（广州）真空仪器有限公司手机版

详细介绍

好处

从 5 x 10^-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10^{-10^{Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围}}
在 10^-8 … 10^-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
符合 RoHS 标准
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型		BPG400
测量范围（空气、O₂、CO、N₂）		5×10^-10 … 1000
精度
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	±15
可重复性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
除气 (1)
p < 7.2="" ×="">^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
压力，	bar (absolute)	2
温度
运行（环境）	°C	0 … +50
贮存	°C	-20 … +70
在法兰处烘烤，有延伸件	°C	150
在法兰处烘烤，无延伸件	°C	80
移除烘烤电子设备	°C	150
电源电压		+20 … +28
输出信号模拟
输出信号	V	0 … +10
测量范围	V	+0.774 … +10
电压与压强	volts per decade	0.75
错误信号	V	0.3 / 0.5
最小负载电阻	kΩ	10
接口（数字）(2)		RS232C
电气连接		D-Sub, 15-pin, male
电缆长度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保护等级		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10^-9 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型		''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯		polling only
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10^-9 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
DeviceNet™ 电源电压		+11 … +25
真空计电源电压		+20 … +28
DeviceNet™ 连接器		Microstyle, 5-pin
BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male

1）除气期间准确性降低

2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列和现场总线

3）RS232C 操作 <>

零件号

BPG400
零件号	明细
353-500	BPG400 规管
353-501	BPG400 规管
353-502	BPG400 规管
353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505	复合真空规
353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490	BPG400 备用传感器
354-491	BPG400 备用传感器
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display

附件

BPG400
零件号	明细
353-511	BPG400 24V电源
353-510	100 mm sensor extension tube
353-512	Baffle for BPG400
211-113	中心圈 with baffle DN 25 KF

备件

BPG400
零件号	明细
354-490	BPG400 备用传感器
354-491	BPG400 备用传感器
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display

数据表

手册

三维步骤文件

其他文件

产品简介

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