BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-01-09 15:38:34
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英福康(广州)真空仪器有限公司

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产品简介

详细介绍

好处

  • BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
  • 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制,可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
  • 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
  • 大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
  • 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证再现性
  • 备有可选的图形显示器和现场总线接口
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 对半导体过程和预抽真空室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制

新闻

新!现在提供 ProfiNET 数字接口!

规格

类型 BCG450
测量范围 5×10-10 … 1500
精度  
10-8 … 50 毫巴 % of reading ±15
50 … 950 毫巴 % of reading ±5
950 … 1050 毫巴 % of reading ±2.5
可重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
热离子发射 mbar 2×10-2 (high)
(可选高/低,通过 RS232 / 现场总线) mbar 8×10-3 (low)
除气 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压力, bar (absolute) 5
温度  
运行(环境) °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤 °C 80
移除烘烤电子设备 °C 150
电源电压 20 … 28
输出信号模拟  
输出信号 V 0 … 10.3
测量范围输出 V 0.774 … 10.3
电压与压强之间的关系 volts per decade 0.75
错误信号 V 0.3 / 0.5
最小负载 kΩ 10
接口(数字)(2) RS232C
连接器 D-Sub, 15-pin, male
电缆长度, (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保护等级 IP30
DeviceNet™  
协议 DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模 up to 64 nodes per segment
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 1400
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 60
设定点继电器: 连接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 电源电压 11 … 25
真空计电源电压 20 … 28
DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin
BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 1400
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 60
Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female
BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
以太网  
以太网协议 protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
节点地址 Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information
以太网连接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330)
Profinet  
Communication protocol protocol specalized for Profinet
Data rate 100 Mbps
Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions Profinet

read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson control, degas function, monitor gauge status, filament status

Analog function 10 … 10 V anlog output pressure indication
Profinet connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght

<100 m (330 ft)

Cyclic data IO-data
Mailbox (CoE) Profinet configuration, responses and information

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

3)RS232C 操作 <>

零件号

BCG450
零件号 明细
353-550 BCG450 规管
353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552 BCG450 规管
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517 BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518 BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R
354-492 BCG450 传感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
353-606 BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

附件

BCG450
零件号 明细
353-511 BPG400 24V电源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

备件

BCG450
零件号 明细
354-492 BCG450 传感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.

数据表

手册

手册

三维步骤文件

其他文件

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