秦思肯Tescan LYRA3 XM 扫描电子显微镜是一款由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，有高真空和低真空两种模式，秦思肯Tescan LYRA3 XM 扫描电子显微镜具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
秦思肯Tescan LYRA3 XM 扫描电子显微镜分析潜力：XM样品室配置5轴马达驱动全计算机化优中心样品台，的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）；超大样品室配备有大型样品台，可以容纳更大的样品；优化的几何设计的允许更多的接口，更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）和其他探头；YAG闪烁器式探头；可选各种探头和配件；几分钟即可抽到仪器需要的工作真空；在低真空模式下可以观测不导电的样品，观测磁性样品的效果非常好，EBSD图像无扭曲；内置主动式样品室防振
LYRA3配置：配有5轴马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室型号，适用于在高真空模式下分析导电的样品。可变真空型扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点，可以在不喷金的情况下利用低真空模式直接观察不导电样品。
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