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MEMS VOC气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
传感器特点
本品采用MEMS工艺，结构坚固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等特点
主要应用
适用于室内空气质量监测、手机、电脑等消费类电子产品应用检测空气质量；也适用于呼出气体检测仪、室内烟雾报警等。
技术指标
| 产品型号 | GM-502B | ||
| 产品类型 | MEMS VOC气体传感器 | ||
| 标准封装 | 陶瓷封装 | ||
| 检测气体 | 乙醇、甲醛、甲苯等 | ||
| 检测浓度 | 1ppm～500ppm | ||
| 标准电路条件 | 回路电压 | Vc | ≤24V DC |
| 加热电压 | VH | 2.5V±0.1V AC or DC | |
| 负载电阻 | RL | 可调 | |
| 标准测试条件下 气敏元件特性 | 加热电阻 | RH | 80Ω±20Ω（室温） |
| 加热功耗 | PH | ≤50mW | |
| 敏感体表面电阻 | Rs | 1KΩ～30KΩ(in 50ppm乙醇) | |
| 灵敏度 | S | R0(in air)/Rs(in 50ppm乙醇)≥3.0 | |
| 浓度斜率 | α | ≤0.9(R200ppm/R50ppm乙醇) | |
| 标准测试条件 | 温度、湿度 | 20℃±2℃；55%RH±5%RH | |
| 标准测试电路 | VH:2.5V±0.1V； Vc:5.0V±0.1V | ||
注：产品参数如有变动，恕不另行通知
