产品特点：
■台面材料采用优质济南青大理石，表面精度高，耐腐蚀性强
■内置精密空气弹簧隔振系统，具备优异的隔振性能，自动调节水平功能
■该产品适用于平面度要求高的实验
技术指标：
■平面度：00级
■固有频率：1.0Hz～1.5Hz
■减振效率：x方向＜5Hz时：86%～92%    y方向＜5Hz时：84%～90%
                 x方向＜10Hz时：90%～96%     y方向＜10Hz时：88%～93%
■振幅：< 1.0μm
■重复定位精度：±0.05mm
接受客户任意规格定制生产

备注：安装费用1500--5000元，视现场情况而定

装配地点：上海某光学科技公司

装配地点：中山大学微电子学院