纯水又称纯净水，指以符合生活饮用水卫生规范的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水。市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水。其中原水中的强电解质和弱电解质(如SiO2、CO2等)，去除或降低到一定程度.其电导率一般为1.0-0.1μs/cm ，电阻率(25℃)(1.0-10.0) M Ω *cm ，含盐量为<1mg/L。

       超纯水是纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于 18M Ω *cm 或接近 18.25M Ω *cm 极限值。

应用范围

       超纯水出现在工业用水中，电阻为18M ω * cm（25℃）。超纯水通常用于集成电路行业，用于清洗半导体原材料和设备、光刻胶掩模制备和硅片氧化水汽源。此外，超纯水还用于制造其他固态电子产品、厚膜电路、薄膜电路、印刷电路和真空管。除了水分子之外，水中几乎没有任何杂质、细菌、病毒、氯化物和其他有机物，去除了氧和氢以外的所有原子。