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反应气体发生器

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2023-02-14 20:08:22: 118

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产品简介

基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点

详细介绍

基于NF₃等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点。

产品有：

ASTRON i-AX7670(3升)
ASTRON ex-AX7685(6升)
ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式）
ASTRON hf-AX7640（15升）
ASTRON hf+AX7635（22升）
ASTRON hf++AX7667（30升）

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