等离子除烟除臭设备是在工业发展过程中出来的，等离子废气净化器又称低温等离子废气净化器，其主体结构为喷淋填料型吸收塔，该产品适用范围广，化工、轻工、印染、医药、机械、电子、仪表、钢铁等行业生产过程中排放的盐酸、硝酸、硫酸、氢氟酸等尾气以及硫氧化物、氮氧化物、等，采用本设备，都可达到满意的净化处理效果。

等离子废气净化器的占地面积小，将塔体、吸收液槽、循环泵、吸收液管道系统组合成一套完整的设备，结构紧凑，便于现场安装及操作管理，占地面积较小，无论安装在地面或屋顶板上都具有明显优势。

等离子除烟除臭设备采用 除雾设计，克服了传统喷淋塔常见的雾沫夹带现象，不仅有利于环境保护，不进一步降低了吸收液补给量。

等离子除烟除臭设备中的等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

(1)电场+电子→高能电子

(2)高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团

(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热

(4)活性基团+活性基团→生成物+热

等离子废气净化器主要适用于各种材料的表面改性处理：表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。