M系列为七海测量技术突破之革命性性影像测量系统,结合光罩技术(Glass Mask)取代传统以光学尺计数之测量模式。无光学尺、无累计误差之大行程悬臂式影像测量仪器,将光学尺所产生的区段误差、累计误差、回程误差等问题消除。突破在大行程测量仪器上的限制,更能精确与客观的获得确切数据。专门针对电路板、铭版、印刷、Touch Panel等业界测量研发设计。
产品特色:
基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩,降低形变系数,稳定性高;
高精度伺服马达传动;
七海光罩技术测量仪,无光学尺和编码器,无阿贝误差,精度不受机械误差影响;
技术突破,悬臂式大行程影像测量仪,高精度,无累计误差;
可搭配激光测头应用;
搭配七海专业版测量软件EF系列软件;
芯片、电路板、铭版、印刷、Touch Panel等专用测量机型。
技术参数:
型号 | GM7060 |
行程(mm) | X | 680 |
Y | 580 |
Z | 100 |
外型尺寸 | 1860x1270x1680 |
工作台大小 | 1020x920 |
工作台承重(kg) | 5kg |
机台重量 | 800kg |
轴向测量精度 | XY(3.0+L/200)μm |
平面精度 | < 5 μm |
控制方式 | 自动 |
摄像机 | SOV-A级高解析1/3” 彩色CCD |
SOV-A 级测量专用型镜头 |
光源 | 轮廓光 | LED,亮度连续可调 |
表面光 | LED,亮度连续可调 |
放大倍数 | 约30-225倍(光学放大倍率为0.7-4.5倍) |
选配功能 | 七海 16向全视角旋转灯源系统 |
七海 12段自动变焦镜头 |
触发测头探针组(智慧型探针测量系统) |
激光位移感测系统 |
工作距离 | 90mm |
电源 | 220 V ± 10% ,50 Hz(用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆) |
工作环境 | 20℃ ± 2℃,温度变化<2℃/hr,湿度45% ~ 75% |
振动<0.002g,低于15Hz |