概述

适用于工业高真空技术的正排量风机。

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 设计）和腐蚀性（CM 设计）气体，用于工业高真空技术。 此系列的特点是高能效。

适用于腐蚀性气体的 CM 系列版本：

AERZEN CM 系列共可选 14 种结构尺寸，适用的理论进气流量范围从 110 m³/h 到 15,340 m³/h，适用的压力范围在 10^-5 mbar 压力以内。 产品优势一览：

通过 ATEX 0 区认证（内部）

4 种不同电机变体，实现较佳选择

机械负载较高（高达 150 mbar），因此缩短了泵送时间

仅消耗少量水、氮和油

适用于净室环境应用

借助变频器实现较大的控制范围（从 1.450 到 7.400 rpm，或从 1.240 到 2.900 rpm）

可选择纵向或水平输送方向

适用于中性气体的 HM 系列版本：

AERZEN HM 系列可选 9 种结构尺寸，在 10^-5 mbar 的真空压力条件下，适用的理论进气流量范围从 406 m³/h 到 15,570 m³/h。 产品优势一览：

4 种不同电机变体，实现较佳选择

机械强度较高（HM 系列高达 230 mbar），因而大幅缩短泵送时间

耗水量、耗氮量低

适用于净室环境应用

借助变频器实现较大的控制范围，各项参数针对 AERZEN 密闭式电机鼓风机进行过调整，卓有成效

可选择纵向或水平流动方向

技术参数

结构形式：正排量风机

体积流量：406 止于  15.570 m3/h

介质：空气 , 中性气体 , 腐蚀性气体

输送：无油

FINAL VACUUM：表压（单位：10^-5mbar）

性能

众多制造工艺经过较高的压力差优化，原因正是如此。

AERZEN 密闭式电机鼓风机大幅缩短泵送时间，从而提高了产量。 这是工艺优化的一大进步。

设计与结构

AERZEN 真空泵的壳体法兰之处配有 O 形圈密封件。 风机头还有真空密闭性和空气冷却等其他重要优势。 由溅油润滑装置提供润滑油。 矿物油和 PFPE 油都可以作为润滑剂，PFPE 油通常用于半导体技术。 密闭式电机鼓风机在输送室和轴承室配有专用的矩形圆环—迷宫—密封件。 另外还安装了一个配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者，中和室可以用密封气体冲洗，以实现更强的密封效果。 一体化密闭式电机可保障对驱动轴的密封。 因此无需连接大气的轴通道，从而可以从技术上实现明显更高的转速。

应用

中性气体还是腐蚀性气体？ AERZEN 针对二者都提供了适用的解决方案，并且结构尺寸也非常合理！

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 系列）和腐蚀性（CM 系列）气体，专用于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使用*。

此前级泵在大气压力条件下开始运行。 通常在大约 50 至 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机，然后泵送流程启动。 根据应用的不同，可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵。 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时，前级泵也可以在大气压力条件下运行。

应用领域

半导体行业

微电子工业

平面屏幕制造

激光技术

太阳能技术

氦检漏装置

化学工艺技术

箔纸和玻璃喷漆

熔炉制造

氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时，必须配备额外的前级泵（多级系统）。