国产MEMS加速度传感器突破关键技术获胜 2012-10-17 15:29:49561 来源：中国机械网 日前，由*第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC*集成电路等关键技术，在招标项目中，一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器在招标中获胜，标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到*产品水平。 MEMS加速度传感器具备高精度、高分辨率（分辨率优于10μg）、低噪声（13所2.5μg，国外同类产品约5μg）、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积（体积是国外同类产品1/4）、重量小于1.2克（国外同类产品约10克）等技术特点，主要技术指标全面超越国外同类产品。