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　　近日，清华大学深圳国际研究生院和深圳博升光电科技有限公司常瑞华院士团队提出了一种基于啁啾高对比度超结构(chirped HCM)的单横模VCSEL设计。该设计提出chirped HCM作为VCSEL的顶部反射镜(图1)，通过在chirped HCM反射镜中引入了横向渐变的反射率，使其能够与激光的基模强度分布更好地匹配，从而有效抑制高阶模式，最终实现高质量、稳定的单横模激光输出。这一设计与传统多层分布式布拉格反射镜(DBR)相比，不仅具备优异性能，而且简化了制造工艺，非常适合量产。
 

图1.基于啁啾高对比度超结构(chirped HCM)的单模VCSEL
 

　　研究团队对加工完成的 chirped HCM VCSEL结构进行了深入的结构分析(图2)。芯片的扫描电镜(SEM)图像验证了设计的可行性和工艺的均匀稳定性。该技术后续将导入批量生产。
 

图2.Chirped HCM VCSEL芯片的扫描电镜(SEM)图像
 

　　研究团队研发的单模VCSEL在不同温度和电流条件下展现出优异的功率输出特性和光谱稳定性(图3)。测试结果表明，该VCSEL在25°C、50°C和75°C的温度范围内能够保持稳定的输出功率，同时在光束模式方面表现出良好的模式控制能力。进一步测试显示，在2-8mA电流范围和5-75°C的工作温度下，其边模抑制比(SMSR)始终高于40dB，充分体现了其在模式选择性和稳定性方面的显著优势。这些特性使其能够满足短距离高速光互连应用对输出稳定性的严格要求。
 

图3.Chirped HCM VCSEL的功率输出和光谱稳定性测试
 

　　此外，团队对该VCSEL的频率响应、相对强度噪声(RIN)以及高速眼图进行了全面测试和分析(图4)。测试结果显示，该VCSEL在高频范围内保持优异的频率响应特性，能够稳定支持高速数据传输。特别是在最大工作电流(8 mA)条件下，VCSEL的RIN低至-144 dB/Hz，展现了卓越的低噪声性能和传输稳定性。在53Gbps和106Gbps PAM4高速传输测试中，眼图轮廓清晰，完全符合IEEE 802.3db™-2022标准，充分验证了其在高数据速率下的信号完整性和低噪声特性。这些测试结果表明，该设计在数据中心和超算系统短距离光互连中具有广泛应用的潜力。
 

图4.Chirped HCM VCSEL的频率响应，噪声性能和眼图测试
 

　　相关研究成果以“单模啁啾高对比度超构垂直腔面发射激光器，速率达每秒106吉比特的四电平脉冲幅度调制”(Single-Mode Chirped High-Contrast Metastructure VCSEL for 106 Gbps PAM4 Transmission)为题，发表于《光学》(Optica)杂志，并被选为2024年11月的封面，体现了国际学术界对这一技术在短距离高速光通信领域创新价值的认可。
 

　　清华大学深圳国际研究生院2021级博士生崔尧为论文第一作者，常瑞华院士为通讯作者。研究得到深圳市科技计划、深港科技创新合作区项目以及广东省重点人才引进项目的资助。