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GK100扩散泵高真空机组系统是由VRD-16前级机械泵、扩散泵、高真空阀、前级管路，冷凝器、高真空检测系统（复合真空计）等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。该机组的真空度可达到5X10-3 Pa(即0.005Pa)，安装方便，操作简单，易于连接，性能可靠，可广泛用于表面分析、钎焊、真空热处理、真空熔炼、加速器技术、半导体设备、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术各领域。
一、机组技术参数
1、机组输入电压：220V/380V
2、波纹管：KF40*1000mm
3、真空挡板阀：KF40
4、机箱尺寸：600*600*600mm
二、扩散泵技术参数
| 扩散泵 | 扩散泵型号 | K150 |
| 入口直径 | 150mm | |
| 抽气速率L/S（对空气） | 1000L | |
| 建议启动压强 | ＜10 Pa | |
| 极限压强（Pa） | 7×10-5 | |
| 排气口法兰 | KF40 | |
| 功率 | 1.2KW | |
| 输入电压频率（V/Hz） | 220V | |
| 环境温度（℃） | 0～40 | |
| 前级泵型号 | FX-16 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 冷却水温度（℃） | <25 | |
| 安装方式 | 垂直 | |
| 注油量 | 0.3L | |
| 重量（公斤） | 40 | |
| 产品型号 | FFX-16 |
三、真空泵参数
| 扩散泵泵前级真空泵FFX-16 (扩散泵必须要配此前级泵) | 功率 | 0.75KW |
| 电压 | 380V | |
| 转速 | 1450rpm | |
| 进气口径 | KF25/KF40 | |
| 前机泵抽气速率（L/S） | 4 | |
| 极限压强 | 4X10 -2Pa |
四、复合真空计技术参数
| 复合真空计
| 复合真空计型号 | ZDF |
| 电源 | 220V 55W | |
| 控制精度 | ± 1% | |
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa |
ZDF型系列电阻/电离复合真空计是基于低真空测量电阻单元(ZJ-52T电阻规)与高真空测量电离单元(ZJ-10电离规)技术组合，以完成1×105~1×10-4Pa连续测量与控制。因此该真空计系列具有电阻真空计与电离真空计所有技术参数与性能特点。该真空计系列具有两种工作模式：手动模式与自动模式。手动模式工作时，相当于独立的电阻真空计和电离真空计；自动模式工作时，首先电阻单元进入测量，当电阻单元测量真空度高于电离规可以开启的真空度时，电离规灯丝自动被点亮(开启)，并进入高真空测量，实现了从大气压(常压)到高真空的自动连续测量。还增加了外设(PLC)开闭电离规功能，以实现电离规工作于真空环境，以延长电离规工作寿命。
