一、概述
微电子产品用超纯水设备应用于半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
二、微电子产品用超纯水设备应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
2、超纯材料和超纯化学试剂；
3、实验室和中试车间；
4、汽车、家电表面抛光处理；
5、光电产品；
6、其他高科技精微产品；
三、微电子用超纯水设备技术要求
1、采用全自动控制(同时亦可采用手动控制)，系统运行时可设定自动反洗、再生程序。
2、一级反渗透和二级反渗透设有回流管道，设备设有化学清洗装置和消毒装置反渗透膜采用美国进口反渗透膜，以保证设备能长期稳定运行。
3、反渗透管路采用不锈钢和UPVC等优质材料。
4、在一级反渗透和第二级反渗透设备中均装有在线电导检测仪。
5、反渗透系统设有低压保护和高压保护开关。
6、反渗透水回收率可调，一级反渗透回收率60-70%，二级反渗透回收率70-80%。
7、循环输送管道装有紫外线杀菌器和微孔过滤器，保证水符合卫生要求。
四、微电子用超纯水设备性能
1、主要零部件均采用世界产品，经CAD设计，技术，性能可靠、产水性能优良。
2、前置预处理保护装置，确保高压泵及反渗透膜不受硬物损坏。
3、脱盐率高，运行压力低的卷式复合膜提高了系统效率，并除低了运行成本。
4、产品浓缩水各设有流量计，以监视并调节运行出水量及系统回收率。
5、在线电导仪表连续监测产品水质，带有设定值和报警。
6、进水及排水系统压力表监测反渗透压差，提示清洗时间，全面的系统监视，自动的仪表显示。
7、灵敏的高压、低压开关，防止在异常状况下对设备的损坏，确保系统的正常运转。
8、的膜保护系统定时冲洗膜表面，降低污染速度，延长膜使用寿命。
9、微电子用超纯水设备脱盐率95%以上，单支膜脱盐率超过99%，操作经济。具有标准性根据用户要求，进行设计。
