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系统由一台长4.8米X宽0.85米单面五工位真空手套箱操作系统对接一台 300℃高温加长管式炉，通过高真空法兰对接高真空净化手套箱，并配有氟胶圈密封炉盖以保证物料不外泄，整个炉体外围实现全封闭，结构合理，外形美观。极限真空0.1Pa。整套系统采用PLC控制，实现整个过程全自动操作。
整个操作系统废气均通过管式排风空气净化装置处理后排到通风橱内，防止废气直接排放到实验室内对研究人员造成伤害。
二、 主要参数：
氢指标：小于10 ppm；
泄露率：小于0.05vol%/h；
2.1手套箱技术指标：
1）手套箱箱体
l 箱体：
材料：304 不锈钢，厚度 3mm
内表面：不锈钢拉丝处理
外表面： 喷漆，白色
内部尺寸： 长度：4800mm
深度：850mm；高度：900mm
l 前窗： 倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8 mm
l 手套口：材料为聚甲醛，O型圈密封
l 手套： 丁基橡胶， 厚度0.4mm ，直径 8”，长度32”
l 过滤器 ： 规格 0.3 微米，1个气体入口和1个气体出口
l 搁物架： 不锈钢材料，内置2层
l 箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方
l 接口： 备用接口3个， DN 40 KF，需要增加接口，可另外注明，
电源接口 1 个 （220V）
2) 小过渡舱
l 过渡舱
尺寸直径 150mm，长度300mm，进入手套箱部分长度100 mm
材料：304 不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷漆（白色）
l 附件
舱门：双门，螺纹锁紧
压力表：模拟显示
l 控制
手动阀手动操作
l 循环系统
工作气体：氮气、氩气
循环能力：集成风机流量90m3/h，加装变频
l 再生
操作：PLC自动控制再生过程
再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5-10%)
l 真空泵
规格：12m3 /h，旋片泵，带油雾过滤器 ，气振控制
l 阀门
主阀：DN 40 KF ，电气动角阀
控制阀：电磁集成阀
5）控制系统：
l 功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用西门子PLC触摸屏。
l 压力控制： 控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护；
l 脚踏板： 控制箱体压力，方便操作升压和降压
6）显示系统：采用西门子PLC 触摸屏，显示运行状态，箱体压力、系统记录等
7）真空系统控制情况
英国EDWARDS 真空泵，可手动或通过PLC启动，流量12m3/h ，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤3x10-1pa
8) 其他配件
l 氢分析仪
测量范围： 0～500ppm
氢变送器采用电化学传感器为测量单元，经过对传感器信号放大、滤波、线性化修正、标准 信号输出等电气处理后，通过微处理器计算出样气中的氢气浓度值，并输出模拟信号（标配 4-20mA）供用户 对氢气信号的二次处理。
二、加热部分
1. 采用多段智能化程序温控，保证恒温区长度为4500mm，温度均匀性为±3℃
2. 加热元件采用优质电阻丝，
3. 保温层为进口氧化铝多晶体纤维板，
4. 设备的功率为40KW，控制电源为380V 50-60HZ，
5. 炉胆直径为150mm。
*316L不锈钢炉管
1. 材质316L不锈钢管，使用温度低于750℃，直径100*长度7000mm，壁厚8mm；
2.内置滑轨/料架方便无聊取出，滑轨与料架的材质为耐高温合金钢；
3. 炉管采用法兰式密封，
4. 炉管预留与手套箱对接法兰，采用氟胶圈密封，
5. 出口单独连接除氢装置，与真空泵接口分开；
6. 与真空泵链接采用KF40的快速接口；
7. 法兰密封部分采用水冷装置进行冷却；
*采用PLC 触摸屏自动化控制
触屏PLC模块实现自动控制和程控加热功能超温和冷却水断流报警
CTS7-200系列具有以下几个方面的出色表现：
的可靠性
丰富的指令集
极快的浮点运算速度
丰富的扩展模块
强大的内部集成功能
CTS7-200系列在集散自动化系统中充分发挥其强大功能。使用范围可覆盖从替代继电器的简单控制到更复杂的自动化控制。
*机械真空泵真空系统、
飞越真空VRD-30机械泵，抽速30m3/h，极限真空度0.05Pa。电源：50/60Hz,380V,功率0.4KW
PPG800压阻皮拉尼复合型规管，是特别为制造单晶硅使用氮气/氩气的真空设备开发的新型压阻电阻复合真空计，也非常适用于使用各种不同气体甚至混合气体的各种场合。
适合于各类气体或甚至于混合气体的场合
小型化设计，省电节能
的温度补偿技术使得测量具有长期的稳定性
全量程不用顾虑气体种类的影响
压阻和皮拉尼自动对接
一键式零点满量程快速校正按钮，瞬间修复误差
RS485串口通讯，3个通讯速率可选，99个从机地址可选
输出电压满量程可选
符合RoSH标准，获得CE认证
产品用途：半导体、电子元件的各种制造设备的中低真空的压力测量和控制
真空炉、冷冻干燥、真空冶炼、真空镀膜等各种制造设备的中低真空系统的压力测量和控制
各类真空排气系统，科研开发设备的中低真空系统的压力测量和控制
技术参数：测量范围： 1.0×10-3～1.33×105Pa
测量精度： 1.33×102～1.33×105Pa ±0.15%的满量程
1.0×10-2～1.33×102Pa ±10%的读数
1.0×10-3～1.33×10-2Pa ±20%的读数
通讯速率： 9600/19200/38400bps
从机地址： 00-98
电压输出： 满量程5V或10V可选
转换公式： V=4+lg P P=10V-4 (V:电压，P:压力Pa)
气体类别选择：0.20～8.00
安装方向： 任意无限制
电源电压： 18～30VDC
电源功率： 1.4W(开机时2W)
外型尺寸（含规管）：48×30×68(93)mm
