硅片清洗系列

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参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-12-29 11:23:57
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苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

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产品简介

华林科纳清洗设备

详细介绍

 

单硅（芯）片清洗机是一种*的划片后清洗设备。华林科纳CSE供应
该产品主要用于清除切割道里面的废屑，是划片后的重要工序。
一、主要技术特点：
1.可靠的控制系统
2.触摸屏显示
3.可设置和存储工艺菜单
4.高压去离子水泵
5.体积小
6.喷头H轴Y轴调节
7.在线电阻率检测水质
8.清洗后高纯氮气吹干过程
9.内置真空发生器（吸附）
10.自动排水装置
11.对硅片定位框架的安全锁定
12.二氧化碳防静电装置（可选）
13.兆声波发生器（可选）
 
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