半导体器件设备-硅片清洗机-苏州华林科纳半导体设备技术有限公司手机版

半导体器件设备-硅片清洗机

参考价: 面议

产品属性

关闭

苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

免费会员

产品简介

华林科纳清洗设备

设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，

保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。

热线电话 在线询价

提示

请选择您要拨打的电话：



温馨提示

该企业已关闭在线交流功能