关键词：磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、

                多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system

                Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction

产地：欧洲；     型号：MEB550；   应用：制备金属膜、氧化膜，超导铝结等

高真空电子束蒸发镀膜设备是量子器件制备中的仪器，用于制备各种高纯金属薄膜和氧化物薄膜。开展量子计算机实验研究，如基于金刚石NV色心，离子阱，超导量子结，量子点电子自旋的研究，均需要蒸镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件。此款高真空电子束蒸发镀膜仪（HV E-beam evaporation system）得到科研工作者广泛使用和推崇，并且具有良好的声誉。利用上述配置，研究者可以制备各种高品质和高度可重复性薄膜材料。

目前包括物理所、清华大学、哈尔滨工业大学、苏州医工所、长春光机所、上海酸盐研究所等单位均在使用相关设备；在国际上也获得了美国(Yale  Univ, Princeton  Univ, UCSB, Chicago Univ, Raytheon）、英国（Glasgow  Univ）、德国（KIT Karlsruhe, Dresden  Univ）、日本(NTT, RIKEN, Tokyo  Univ)、加拿大(Waterloo  Univ, Sherbrooke  Univ)、法国 (CNRS, CEA, Thales Group, Grenoble, IEMN,  Univ Geneva)、瑞士(ETH Zurich)、瑞典(Chalmers  Univ)、俄罗斯(SKOLKOVO)、意大利（STMicroelectronics）等国家的机构的高度认可。

推荐配置：可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜，目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。

全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。

典型用户：耶鲁大学、UCSB、普林斯顿大学、滑铁卢大学、法国科学研究中心（CNRS）、格拉斯哥大学、日本NTT、清华大学等，欢迎咨询！