PB1000型微纳米力学综合测试系统

PB1000型微纳米力学综合测试系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-01-16 14:17:27
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微纳(香港)科技有限公司

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产品简介

详细介绍

- 压痕测试符合国际ISO14577与美国ASTM E2546标准,划痕测试符合ISO 20502、1518、ASTM

D7027、D1624、D7187、C171标准。

- 载荷加载系统:采用闭环载荷加载垂直加载,准确性远远优于传统的开环载荷加载技术及悬臂加载技术,可保证施加载荷的精准性。

- 载荷驱动方式:高精度压电陶瓷驱动,精度远远优于电磁力驱动。

- NANOVEA技术(号:EP0663068 A1 1995)高精度电容式传感器来能够保证系统够实现高精度的测量可保证压入深度与划入深度实时测量。

- 采用encoder高精度光栅尺样品台,定位精度可达250nm以内。

- 的热飘逸控制技术:纳米压痕仪的热飘逸为<0.05nm/s,同时通过专业的硬度测试软件,利用热飘逸补偿技术可将热飘逸总量控制在1nm以内;另外,仪器采用立式结构,电子单元在左右两边,热量往上漂不会对电子单元产生影响,从而得到非常小的热漂移。

- 划痕具有全景成像模式

- NANOVEA公司金刚石面积函数校准技术(号:No. 3076153)只需要压一次就可以对针尖面积函数进行校准实现精确测量!!!

1)纳米压痕仪:

静态加载模式加载载荷:80mN /400mN/1800mN/4800mN

动态加载模式DMA:0.1-100Hz

载荷分辨率:3nN

可实现的最小载荷:0.1mN

加载速率:0.04-12000mN/min

压入深度(电容传感器): 250μm/1mm

位移分辨率:0.0003nm

快速压痕功能:做100mapping点只需5分钟

热飘逸<0.05nm/s(室温条件下)

2)纳米划痕仪:

划痕正向力载荷:80mN /400mN/1800mN/4800mN

载荷分辨率:3nN

划痕正向力最小载荷:0.1mN

划痕深度:250µm/1mm

划痕长度:50mm

划痕速度:0.05-600mm/min

位移分辨率:0.0003nm

深度:250μm/1mm

深度分辨率:0.0003nm

摩擦力:400mN/1800mN

摩擦力分辨率:7μN

3)微米压痕仪:

加载载荷:40N/200N

载荷分辨率:2.4μN /12μN

载荷噪声水平(RMS):0.1mN/0.5mN

可实现的最小载荷:2mN/10mN

加载速率:0.01-500N/min / 0.05-1000N/min

快速压痕功能:做100mapping点只需12分钟

深度范围(电容式传感器):1mm

深度分辨率:0.01nm

深度分噪声水平(RMS: 0.5nm

4)微米划痕仪:

划痕正向力载荷:40N/200 N

划痕正向力最小载荷:2mN/10mN

划痕深度:1mm

深度分辨率:0.01nm

深度分噪声水平(RMS: 0.5nm

划痕长度:50mm

划痕速度:0.1-1200mm/min

摩擦力:20N/200N

摩擦力分辨率:1.3mN/13mN

5)精密定位平台:

— XY方向移动范围:150mm*150mm

Z方向允许的样品空间150mm

工作台XY方向定位分辨率:10nm

工作台XY方向定位精度:250nm

— Z方向可自动移动移动范围:50mm

6)光学金相显微镜成像系统:

物镜的放大倍率分别为:5X10X20X50X1000X

总的放大倍率分别为:400X800X1600X4000X8000X

7)原子力显微镜AFM的技术参数(高分辨率):

— XYZ方向扫描范围:100µm *100µm *12µm

— XY方向移动分辨率:0.1nm

— Z方向的测量分辨率:0.02nm

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