Ø产品简介

MiniLab026是英国MOORFIELD公司一款落地式高性能科研级PVD综合镀膜系统，采用模块化设计，可在一台仪器上实现常规电阻热蒸发镀膜，低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜，有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，同时还可搭载等离子刻蚀机退火模块，该系统被国际上许多学术团队采用，是科研用户PVD的理想选择。

Ø产品特性

• 落地结构，模块化设计

• 可选择DC与RF两种磁控溅射源，用于金属及绝缘层镀膜，溅射靶角度连续可调，可独立/依次/共同溅射

• 可选择电阻热蒸发源，低温热蒸发源，用于金属及有机物镀膜

• 可选配等离子刻蚀机及高温退火装置（1100℃）

• 可支持6英寸样品

• 兼容手套箱

• 可加3路反应气体，Ar，N2，O2可选配有MFC控制

• 配置高精度真空规进行压力全自动控制，真空度低至 <5×10-7 mbar

• 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测

• 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作

• 自定义并可存储多个recipe

• 操作安全：自带各种软硬件互锁功能

• 可选加热样品台，温度500℃，精度+/-1℃

• 可选旋转样品台

• 售后维护简单

Ø典型结构

• 金属薄膜与绝缘层蒸镀：配置2个磁控溅射源

• 金属薄膜蒸镀：配置3个电阻高温热蒸发源

• 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源与1个LTE低温热蒸发源

Ø应用

该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。