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“*的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。
FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。
尺寸虽小，却具备同类产品中的分辨率。
金颗粒沉积
加速电压：20 kV
倍率：60,000倍
信号：SE
分辨率：4 nm
金颗粒沉积
加速电压：20 kV
倍率：50,000倍
信号：BSE
分辨率：5 nm
配备可优化放射电流的功能，以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，而获得噪点小且清晰的图像。
储氢合金
加速电压：5 kV
倍率：30,000倍
信号：SE、无金属涂层
Al-Ni复合材料
加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：BSE、无金属涂层
搭载GUI和自动调节功能，让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦（AFC）、自动亮度调节（ABCC）按钮，就可以获得的图像。（自动调节：与以往相比，缩短时间约13秒*3）当然，也可以通过触屏进行操作。
“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像，定位样品，一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴，并以分布图的形式显示。
宽幅仅为45厘米，紧凑型设计，地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外，机体和电源盒可以分离，从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。
FlexSEM 1000 II
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式） |
| 加速电压 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率） |
| 低真空设置 | 6～100 Pa |
| 电子枪 | 集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament） |
| 样品台 | 3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可观察范围：直径64mm（R联用）*4 |
| 样品尺寸 | 直径80 mm（选配：直径153mm） |
| 样品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm |
| 选项 |
|
| 软件 | Multi Zigzag（连续视野图像导入功能） |
加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层
加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信号：BSE、无金属涂层
FlexSEM 1000 II采用新型偏压系统，可在低加速电压下获得高放射电流。从而，在低加速电压下也能实现同类产品中的图像清晰度（S/N）。
加速电压：15 kV
倍率：10,000倍
信号：SE、无金属涂层
加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：SE、无金属涂层
加速电压：3 kV
倍率：15,000倍
信号：SE、无金属涂层
加速电压：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层
加速电压：5 kV
倍率：40,000倍
信号：SE、有金属涂层
加速电压：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信号：UVD、无金属涂层
利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号，可计算4个方向的表面形状，从而无需进行样品倾斜和视野对位，即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言，具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。
详情请浏览“日立*领域”页面。
