QMG 700 分析质谱仪

QMG 700的一些变体将于2018年1月31日停止使用

• 质量范围1024 amu和2048 amu 

• 质量范围16 amu和340 amu 

• 离子光学系统 

• QMG 725系统

超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率

半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限，推动工艺创新，提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。

根据具体的应用要求，选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程，达到ppb 检测量级，这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率，对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用，如同位素分析，氦和氘分离等，QMG 700是的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量，有效控制您的工艺。

INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和的技术，确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长，您可获得始终如一的高精度测量数据。

功能

• 质量范围选择为 1-2048 amu

• 超过九个数量级的动态量程

• 极快的测量速度：0.125 ms/amu

• MDPP < 10E-16 mbar

• 涵盖整个质量范围的高分辨率：质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离

• 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合

• 离散或连续倍增电极电子倍增器选件

• 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器

• IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出

• 软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面

典型应用

• Gas discharge mass spectrometry

• End point detection

• Deposition material monitoring

• Secondary ion mass spectrometry

规格

零件号