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型号 | GWRS30/300 | GWRS30/600 | GWRS70/1000 | ||
罗茨泵型号 | ZJP-30 | ZJP-30 | ZJP-70F | ||
涡旋泵型号 | GWSP300 | GWSP600 | GWSP1000 | ||
抽速 | l/s | 30 | 30 | 70 | |
l/min | 1.8*103 | 1.8*103 | 4.2*103 | ||
m3/h | 1.1*102 | 1.1*102 | 2.5*102 | ||
cfm | 6.4*101 | 6.4*101 | 1.4 *102 | ||
极限真空度 | Pa | ≤3 | ≤1 | ≤1 | |
mbar | ≤3.0*10-2 | ≤1.0*10-2 | ≤1.0*10-2 | ||
Torr | ≤2.2*10-2 | ≤7.5*10-3 | ≤7.5*10-3 | ||
psi | ≤22 | ≤7.5 | ≤7.5 | ||
噪音 | dB(A) | ≤73 | |||
进/排气压力 | MPa | 0.1/0.13 | |||
工作环境温度 | ℃ | 5~40 | |||
罗茨泵功率 | kW | 0.55 | 0.75 | 1.50 | |
涡旋泵功率 | kW | 0.55 | 0.75 | 1.50 | |
总功率 | kW | 1.10 | 1.50 | 3.00 | |
冷却方式 |
| 风冷 | |||
进气口方向 |
| 垂直 | |||
进//排气口法兰 |
| 80/KF16 | 80/KF16 | 80/KF16*2 | |
外形尺寸 | mm | 870*800*950 | 870*800*950 | 1100*1000*1100 |
使用注意事项
GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体, 不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体, 也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质, 以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃, 如果超过该温度, 必须在进气管路上安装冷却装置, 使进气温度 低于50℃。
特点
抽速大,范围广
适用于电源电压与频率
高效环保,不返油也不喷油
低振动,低噪音,低能耗
重量轻,体积小
用途
真空炉
激光管抽空
电子束镀膜
LED/LCD/等离子清洗
真空镀膜/预处理