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| 机组型号 | GWMS100/150 | GWMS300/150 | GWMS600/300 | GWMS1200/600 | GWMS1600/1000 | |
| 抽速 | l/s | 110 | 300 | 500 | 1200 | 1600 |
| l/min | 6.6*103 | 1.8*104 | 3.0*104 | 7.2*104 | 9.6*104 | |
| m3/h | 3.9*102 | 1.1*103 | 1.8*103 | 4.3*104 | 5.8*104 | |
| cfm | 2.2 *102 | 6.0*102 | 1.0*103 | 2.5*104 | 3.4*104 | |
| 极限真空度 | Pa | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 |
| mbar | ≤1.0*10-7 | ≤1.0*10-7 | ≤1.0*10-7 | ≤1.0*10-7 | ≤1.0*10-7 | |
| Torr | ≤7.5*10-8 | ≤7.5*10-8 | ≤7.5*10-8 | ≤7.5*10-8 | ≤7.5*10-8 | |
| psi | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | |
| 噪音 | dB(A) | ≤63 | ≤63 | ≤63 | ≤63 | ≤63 |
| 启动时间 | min |
| ＜3 | |||
| 进/排气压力 | MPa |
| 0.1/0.13 | |||
| 工作环境温度 | ℃ |
| 5～40 | |||
| 冷却方式 |
|
| 风冷 | |||
| 电机 |
|
| 单相，220v (50Hz)，三相，380V (50Hz) | |||
| 进/排气口尺寸 |
| CF100/KF16 | CF150/KF16 | CF150/KF16 | CF200/KF16 | CF250/KF16*2 |
| 外形尺寸 | mm | 500*510*680 | 730*570*700 | 730*570*700 | 950*570*730 | 990*630*880 |
GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体， 不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体， 也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质， 以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃， 如果超过该温度， 必须在进气管路上安装冷却装置， 使进气温度低于50℃。
GWMS系列无油超高真空机组由复合分子泵、无油涡旋真空泵、控制阀门、电控系统、真空管路、机架等组成，用于创造无油超高真空环境。
特点
创造无油超高真空
极限真空度高，达到 6x10-7Pa
清洁无油，不污染被抽腔体
能够连续工作
7*24小时连续运行，可靠耐用
低噪音，低振动
63分贝，工作环境舒适健康
适合电源
110/220/380/460V, 50/60Hz任选
用途
半导体行业
真空镀膜-磁控溅射、激光溅射、蒸发镀膜
航空航天
空间环境模拟、材料加工处理
检测分析
加速器、质谱仪、能谱仪、扫描电镜
真空检漏
He质谱检漏
