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沈阳市所在地
型号 | GWSP75 | GWSP150 | GWSP300 | GWSP600 | GWSP1000 | ||
抽速 | 50Hz | l/s | 1.0 | 2.0 | 4.3 | 8.7 | 16.6 |
l/min | 60.0 | 120.0 | 258.0 | 522.0 | 996.0 | ||
m3/h | 3.6 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | 59.8 | ||
cfm | 2.2 | 4.3 | 9.3 | 18.7 | 35.8 | ||
极限真空度 | Pa | ≤8 | ≤6 | ≤2.6 | ≤1 | ≤1 | |
mbar | ≤8.0*10-2 | ≤6.0*10-2 | ≤2.6*10-2 | ≤1.0*10-2 | ≤1.0*10-2 | ||
Torr | ≤6.0*10-2 | ≤4.5*10-2 | ≤1.9*10-2 | ≤7.5*10-3 | ≤7.5*10-3 | ||
psi | ≤1.2*10-3 | ≤9.0*10-4 | ≤3.8*10-4 | ≤1.5*10-4 | ≤1.5*10-4 | ||
噪音 | dB(A) | ≤57 | ≤57 | ≤60 | ≤61 | ≤63 | |
漏率 | mbar·l/s | 1*10-7 | |||||
进/排气压力 | MPa | 0.1 / 0.13 | |||||
工作环境温度 | ℃ | 5~40 | |||||
冷却形式 |
| 风冷 | |||||
进/排气口法兰 |
| KF25/KF16 | KF40/KF16 | KF40/KF16*2 | |||
单相电机 | 功率 | kW | 0.55 | 0.75 | -- | ||
电压 | V | 200~230 (50Hz), 110~115 (60Hz) | -- | ||||
转速 | rpm | 1425 (50Hz), 1725 (60Hz) | -- | ||||
接头形式 |
| 国标、北美、欧洲、英国、爱尔兰、印度等 | -- | ||||
三相电机 | 功率 | kW | 0.55 | 0.75 | 1.50 | ||
电压 | V | 200~230和380~415 (50Hz), 200~230和460 (60Hz) | |||||
转速 | rpm | 1425 (50Hz), 1725 (60Hz) | |||||
外形尺寸 | 单相 | mm | 455*260*275 | 460*260*275 | 495*310*320 | 525*325*335 | -- |
三相 | mm | 455*260*275 | 460*260*275 | 495*310*320 | 525*325*335 | 565*445*405 | |
净重 | 单相 | kg | 21 | 22 | 29 | 36 | -- |
三相 | kg | 20 | 21 | 28 | 31 | 54 | |
其它 |
| 带气镇 |
使用注意事项:
GWSP系列无油涡旋真空泵用于抽干燥、洁净的气体,不能用于抽对人体有害、易爆、易燃或腐蚀性气体,也不能用于抽含有化学品、溶剂以及能生成粉末的物质,以免由于毒气、爆炸、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃,如果超过该温度,必须在进气管路上安装冷却装置,使进气温度低于50℃。
特点
全无油
不返油,不喷油,提供洁净真空与周围工作环境
大抽速范围
3~60 立方米/小时
低极限压力
1~8 帕,7*24小时连续运行,稳定可靠
低噪音、低振动
57~63分贝,工作环境舒适健康
适合电源
110/220/380/460V, 50/60Hz任选
高效益,低运行成本
无需日常维护,不需要水冷却,也不需要油润滑
操作简单
一键启动,能在大气压和真空之间频繁启动与关闭
用途
半导体行业
磁控溅射、激光溅射、蒸发镀膜、
芯片等离子体抛光、芯片封装、芯片传输
手套箱、排气台、样品传输、预处理室抽真空
He质谱检漏
光电行业
LED封装、液晶注入与封装
材料行业
材料制备--3D打印、单晶生长炉
真空焊接--电子束焊接、激光焊接
真空清洗--等离子清洗、微波清洗、微波干燥
食品药品
真空包装、真空存储
食品药品冷冻干燥、真空烘干
医疗卫生
等离子体灭菌、真空存储、牙科设备
能源工业
锂电池制备与封装
氢燃料电池制备与封装
航空航天
空间环境模拟、材料加工处理
分析仪器
加速器、质谱仪、能谱仪、扫描电镜
真空设备
分子泵机组、罗茨泵机组
冷凝泵再生等等
| A | B | C | D | E | F | G | H | K | L | M | N | P | d1 | d2 |
GWSP75 | 455 | 260 | 275 | 210 | 210 | 115 | 80 | 130 | 140 | 100 | 155 | 250 | 55 | KF25 | KF16 |
GWSP150 | 460 | 260 | 275 | 210 | 210 | 115 | 80 | 130 | 140 | 105 | 155 | 250 | 130 | KF25 | KF16 |
GWSP300 | 495 | 310 | 320 | 260 | 253 | 160 | 90 | 160 | 160 | 115 | 190 | 290 | 150 | KF25 | KF16 |
GWSP600 | 525 | 325 | 335 | 290 | 253 | 160 | 95 | 170 | 180 | 125 | 205 | 290 | 160 | KF40 | KF16 |
GWSP1000 | 565 | 445 | 405 | 335 | 267 | 185 | 120 | 195 | 190 | 135 | 220 | 305 | 120/65 | KF40 | KF16*2 |