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PMC程控洁净烘箱是一台针对集成电路封装生产线塑封后固化时存在的污染、分层、变色等问题而研制的烘箱，通过强制排风，带走烘烤挥发物，将各种动作、逻辑关系、相关保护、参数设定、数据通信程序化，操作员只是简单的操作即可完成整个工艺段的烘烤，提高了烘烤工艺的可控性，增加了烘烤温度曲线对应产品序号的可追溯性。
程控洁净烘箱规格表
| 序号 | 项目内容 | PMC程控洁净烘箱 | PMC程控洁净烘箱 |
| 1 | 型号 | HTM-2363 | HTM-2364 |
| 2 | 使用工序 | 后固化/测试/电镀 | 后固化/测试/电镀（充氮） |
| 3 | 外形尺寸 | 1430×1050+50×1826 | 1430×1140×1860 |
| 4 | 内腔尺寸 | 690×680×930 | 690×680×930 |
| 5 | 可载烘烤产品重量 | 280KG | 360KG |
| 6 | 占地面积（闭门） | 1.62平方米 | 1.62平方米 |
| 7 | 占地面积（开门） | 2.95平方米 | 2.95平方米 |
| 8 | 空载重量 | 480KG | 485KG |
| 9 | 标称用电功率 | 18kw | 18kw |
| 10 | 空载一个周期用电 | 4.5度 | 4.5度 |
| 11 | 满载一个周期用电（24个弹夹，每个弹夹放置83mm宽SOP产品100条室温--175度--保持1H--降温到100度） | 5.9度 | 5.9度 |
| 12 | 产品放置情况 | 后固化1：制作专用货架，共6层，每层水平放置4个弹夹，共计24个弹夹。 | 后固化1：制作专用层板，共3层，每层水平放置12个弹夹，共计36个弹夹。 |
| 13 | 温度曲线记录方式 | 9点温度记录，数据存储在本机 | 9点温度记录，数据存储在本机 |
| 14 | 温度均匀性 | ±2℃ | ±2℃ |
| 15 | 温度均匀性1 | ±5℃ | ±5℃ |
| 16 | 温度偏差 | ±1℃ | ±1℃ |
| 17 | 保温及密封性能 | 19小时 | 19小时 |
| 18 | 保温及密封性能 | 小于室温+25℃ | 小于室温+25℃ |
| 19 | 箱体密封材料所能够承受的上限温度 | 250℃ | 250℃ |
| 20 | 排风节能性能（不外接排风，空载200度恒温10分钟后排风时，烘箱排风口温度） | 72℃ | 72℃ |
| 21 | 平均辅助间隔时间 | MTBA>168小时 | MTBA>168小时 |
| 22 | 平均故障间隔时间 | MTBF>168小时 | MTBF>168小时 |
| 23 | 烘箱内胆材料 | 304不锈钢镜面处理材料 | 304不锈钢镜面处理材料 |
| 24 | 内胆焊接工艺 | 不锈钢无缝氩弧焊接 | 不锈钢无缝氩弧焊接 |
| 25 | 烘箱外壳材料 | 1.5mm冷轧钢板激光切割、成型焊接 | 1.5mm冷轧钢板激光切割、成型焊接 |
| 26 | 烘箱外壳处理工艺 | 高温喷塑处理 | 高温喷塑处理 |
| 27 | 烘箱保温层材料、厚度 | 高密度压缩成型片状岩棉 | 高密度压缩成型片状岩棉 |
| 28 | 烘箱清洁程度 | 挥发物风道与循环风道分时隔离，挥发物大量挥发时采用强制直排方式，造成箱体污染少；不会重复污染产品。 | 挥发物风道与循环风道分时隔离，挥发物大量挥发时采用强制直排方式，造成箱体污染少；不会重复污染产品。 |
| 29 | 风道结构 | 升温恒温循环风道，降温过风风道 | 升温恒温循环风道，降温过风风道 |
| 30 | 进风过滤 | 过滤后进新风 | 过滤后进新风 |
| 31 | 排风管径mm | 100 | 100 |
| 32 | 排风量 | 2915L/min | 2915L/min |
| 33 | 换风率 | 6.63 | 6.63 |
| 34 | 换风保障率 | 自带强排风99%保证 | 自带强排风99%保证 |
| 35 | 换风频率可调 | 根据需要可编程控制，隔离系统干扰 | 根据需要可编程控制，隔离系统干扰 |
| 36 | 冷却方式 | 水冷（选配）+全流量过风不开门冷却 | 水冷（选配）+全流量过风不开门冷却 |
| 37 | 冷却管配置 | 选配 | 选配 |
| 38 | 循环水流量 | / | / |
| 39 | 进水温度 | / | / |
| 40 | 出水温度 | / | / |
| 41 | 循环水压强 | / | / |
| 42 | 水接头管外径 | φ10 | φ10 |
| 43 | 氮气流量 | 无 | 80-100L/min |
| 44 | 氮气接头管径型号 | 无 | φ10 |
| 45 | 废热回收配置 | 无 | 无 |
| 46 | 废热预热后氮气温度 | 无 | 无 |
| 47 | 氮气应急保护功能 | 无 | 氮气流量监控功能和氮气控制器坏时手动充氮功能 |
| 48 | 超温保护1 | 9点温控传感器自带超温预警 | 9点温控传感器自带超温预警 |
| 49 | 超温保护2 | 机械式温度保护传感器1 | 机械式温度保护传感器1 |
| 50 | 超温保护3 | 机械式温度保护传感器2 | 机械式温度保护传感器2 |
| 51 | 断电保护功能 | 如果自动运行过程断电或运行中断，后续固化有两种模式供选择：如果中断在30分钟内，系统得电后，将自动恢复到断电前的状态完成运行；如果超过30分钟，系统将提醒进入手动模式，由人工编程完成后续固化。 | 如果自动运行过程断电或运行中断，后续固化有两种模式供选择：如果中断在30分钟内，系统得电后，将自动恢复到断电前的状态完成运行；如果超过30分钟，系统将提醒进入手动模式，由人工编程完成后续固化。 |
| 52 | ESD保护 | Y | Y |
| 53 | 控制系统 | PLC+PC+触摸显示器 | PLC+PC+触摸显示器 |
| 54 | 产品遗忘保护功能 | 产品流程卡扫描全部进出记录对应才能启动下一个流程，否则报警提醒。 | 产品流程卡扫描全部进出记录对应才能启动下一个流程，否则报警提醒。 |
| 55 | 工艺参数预置 | 二十项工艺参数预置 | 二十项工艺参数预置 |
| 56 | 产品及工艺参数---时间曲线记录保存 | Y | Y |
| 57 | 产品及工艺参数---时间曲线记录查询 | Y | Y |
| 58 | 操作日志保存查询 | Y | Y |
| 59 | 报警信息保存查询 | Y | Y |
| 60 | 产品信息录入 | 设备端扫描录入 | 设备端扫描录入 |
| 61 | 参数调用 | 扫描录入/自动调取 | 扫描录入/自动调取 |
| 62 | 设备群组联网 | Y | Y |
| 63 | 与MES系统联网 | Y | Y |
