全自动RCA清洗机/苏州尚纯

全自动RCA清洗机/苏州尚纯

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100000 1

具体成交价以合同协议为准
2020-07-29 08:51:39
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苏州尚纯半导体设备有限公司

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产品简介

全自动RCA清洗机
适用产业:半导体等
控制模式:手动控制模式、自动控制模式
项目数据
适用对象硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
砷化镓晶片2-6inch 25P

详细介绍

全自动RCA清洗机

适用产业:半导体等

控制模式:手动控制模式、自动控制模式

项目

数据

适用对象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它衬底晶片

基本规格

机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mmOr China SUS板材(厚度≥2mm

机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SU`S 矩形材

机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mmOr China 钢化玻璃(厚度≥2mm

选配模块

  • 腐蚀液恒温系统
  • 腐蚀液循环过滤系统
  • 超(兆声)系统
  • 全自动供液系统
  • 更全面的全自动烘干系统
  • 消防系统
  • 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

机台特点

  • 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
  • QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定
  • 集成自动干燥系统
  • 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
  • 保修便利,非期货库存品工厂内均建立安全库存品
  • 全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小运行平稳,机械臂定位精度高
  • 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储
  • 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全
  • 客制化设计能力佳,搞设计能力满足客户制程工艺需要

机械臂装置

Robot的工艺路径种类 N种(设备出厂前载入PLC内)

机械手传送定位精度 0.3mm

机械臂走向 右进做出或左进右出

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏)

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备有限公司

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