品牌
生产厂家厂商性质
苏州市所在地
全自动RCA清洗机
适用产业:半导体等
控制模式:手动控制模式、自动控制模式
项目 | 数据 |
适用对象 | 硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
基本规格 | 机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm)Or China SUS板材(厚度≥2mm) 机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SU`S 矩形材 机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mm)Or China 钢化玻璃(厚度≥2mm) |
选配模块 |
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机台特点 |
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机械臂装置 | Robot的工艺路径种类 N种(设备出厂前载入PLC内) 机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向 右进做出或左进右出 |
制程控制 | PLC控制方式 |
操作界面 | 全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏) |
槽体数量 | 根据制程要求选择定制 |
设备制造 | 苏州尚纯半导体设备有限公司 |